Série de cibles en métaux et alliages de terres rares de haute pureté —— Cible en lanthane (La)
Pureté: 2N ~ 4N (pureté absolue)
Méthode d'emballage: emballage sous vide double couche ou emballage imbibé d'huile
Modèle standard:
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Standard |
Norme de terres rares du Hunan |
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Grade |
La-4Na-T |
La-3Na5-T |
La-2Na-T |
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La, pas moins de (%) |
99.99 |
99.95 |
99 |
|
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La/RE, pas moins de(%) |
99.999 |
99.995 |
99.5 |
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La teneur en impuretés ne doit pas dépasser (ppm) |
Al |
15 |
25 |
100 |
|
Si |
5 |
10 |
300 |
|
|
Fe |
20 |
100 |
2000 |
|
|
Californie |
10 |
25 |
200 |
|
|
Cu |
20 |
100 |
500 |
|
|
Cr |
1 |
10 |
200 |
|
|
Ni |
5 |
10 |
200 |
|
|
Mn |
1 |
10 |
100 |
|
|
Li |
1 |
5 |
— |
|
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N / A |
1 |
10 |
— |
|
|
K |
5 |
5 |
— |
|
|
C |
100 |
400 |
— |
|
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O |
2000 |
4000 |
— |
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Spécifications typiques |
Cible ronde |
φ164*6 mm, φ180*12 mm, φ203,2*6 mm, φ469,9*3 mm. |
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Applications du produit:
Les cibles métalliques au lanthane possèdent d'excellentes constantes diélectriques, ce qui en fait des matériaux diélectriques de grille à haute valeur K idéaux. Ces cibles sont utilisées pour augmenter la constante diélectrique de grille des transistors dans les processus inférieurs à 5 nm et réduire le courant de fuite de grille.
Avantages techniques:
1. En utilisant du métal lanthane de haute pureté comme matière première, la pureté absolue du produit peut atteindre jusqu'à 4N. Le contrôle des impuretés clés est strict, avec O ≤ 2000 ppm et C ≤ 100 ppm.
2. La taille moyenne des grains est inférieure à 100 μm.
3. La production personnalisée de tailles non standard est prise en charge.

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